Особенности электронно-лучевой микроразмерной обработки подложек из различных типов керамики

Введение

Выдающиеся механические и физические свойства, такие как высокая термостойкость, твердость и химическая стабильность способствовали применению керамики во многих областях. В электротехнической и радиоэлектронной промышленности керамические материла часто используются в качестве подложек для электронных устройств или модулей, в том числе для ВЧ и СВЧ применений.

В настоящее время для получения отверстий в керамике применяют механическую или лазерную обработку. При механической обработке керамики происходит усиленный износ и образование сколов на кромках инструмента. При лазерной обработке набирается конусность отверстий и изменение состава материала в зоне возле отверстия, что значительно влияет на качество обработки.

Перспективным методом является электронно-лучевая обработка (ЭЛО) благодаря своим характеристикам - высокой плотности энергии, высокому КПД, высокой стабильности и др. В данной статье проводится исследование качества электронно-лучевой обработки подложек из LTCC и спеченной керамики ВК94-ДН на примере получения (сверления) отверстий в зависимости от параметров электронного луча.

...

Заключение

Таким образом , при обработке предварительно нагретой спеченной керамики ВК94-ДН импульсным электронным пучком получено отверстие правильной формы. Параметры импульсного электронного луча (количество импульсов, ток обработки, состояние фокуса, длительность импульса и паузы) влияют на качество обработки керамики. Для получения отверстий меньшего диаметра при обработке следует использовать сфокусированный луч с меньшим током обработки. 

Если Вы хотите ознакомиться с полной версией статьи - напишите нам! Мы с радостью поделимся полным текстом!