Вакуумплотные подложки из алюмооксидной керамики

Вакуумплотные подложки из алюмооксидной керамики
24 марта 2022

Вакуумплотные подложки из алюмооксидной керамики

Керамические подложки, изготовленные из оксида алюминия Al2O3, являются основой для создания гибридных интегральных схем (ГИС), керамических конденсаторов, резисторов, нагревателей, различных полупроводниковых элементов и электротехнических изделий. Сам оксид алюминия имеет второе название – корунд. Поэтому нередко можно встретить названия «корундовая керамика». Аббревиатура ВК – вакуум-плотный корунд (некоторые расшифровывают вакуум-плотная керамика).


Рисунок 1 – Керамические подложки ВК-96

Среди корундовой керамики выделяют несколько основных типов. ВК94 (розовая), ВК96 (белая), ВК100, поликор (международное название: люкалокс), сапфир.

В чем же разница между этими материалами? Стандартно, керамика, имеющая аббревиатуру ВК, имеет рентгеноаморфную или мелкокристаллическую структуру. Сама керамика непрозрачна, а ее цвет зависит от примесей, входящих в ее состав, и изменяется от ярко розового до белоснежного.

Керамика ВК100 – корундовая керамика с максимальной степенью очистки, близкой к 100%, максимальной теоретической плотностью, непрозрачного белого цвета, которая может быть отполирована до шероховатости поверхности Ra 0,05, не уступая по этому параметру кристаллическим аналогам.

Поликор – керамика с международным названием люкалокс, из названия ПОЛикристалличный КОРунд. Ключевое отличие этой керамики от традиционных ВК – кристаллическая структура. За счет кристаллизации достигается более высокая теоретическая плотность, подложки становятся полупрозрачными с белым отливом. При этом степень чистоты соответствует керамике ВК100.

Сапфир – монокристалл оксида алюминия. Отличается еще более высокой теоретической плотностью, чем у поликора, максимальной прозрачностью и минимальным количеством примесей среди всех аналогов. Иногда можно встретить керамику с названием сапфирит – это одно из названий поликристаллической алюмооксидной керамики.  

Различная кристаллическая структура не может не сказаться на дальнейшей обработке подложек. Прозрачная керамика плохо поддается лазерному скрайбированию (требуются дополнительные манипуляции) и хорошо поддается дисковой резке.



Рисунок 2 – Толщина керамической подложки  

Сравнительная таблица характеристик материалов

Свойство

ВК94-ДН

ВК96-ДН

ВК100-ДН

Сапфир

ВК96 поликор

ВК100 поликор

Содержание Al2O3, %, не менее

94,4

96,0

99,6

100,0

96,0

99,7

Плотность, г/см3, не менее

3,60

3,70

3,90

3,98

3,70

3,96

Прочность на изгиб, МПа, не менее

280

350

500

450 ~ 895

310

313

ТКЛР, ·10-6/°С
(при 20…900 °C)

6,5 ~ 7,5

6,5 ~ 8,0

6,2 ~ 8,2

5,0 ~ 6,7*

7,9

8,0

Диэлектрическая проницаемость (при 20 °C)

9,0 ~ 10,0

9,0 ~ 10,0

10,0

9,3 ~ 11,5*

9,0 ~ 9,4

9,45 ~ 9,95

Тангенс угла диэлектрических потерь, ·10-4

4

2

2

1

4

1

Шероховатость полированной поверхности Ra, мкм

-

≤ 0,032

≤ 0,05

0,007-0,010

-

0,025

Шероховатость шлифованной поверхности Ra, мкм

0,63

0,63

0,10

-

1,60

1,60

*зависит от ориентации кристалла

В отличии от прозрачных и полупрозрачных аналогов керамика ВК хорошо поддается не только дисковой резке, но и лазерному скрайбированию, которое является более дешевым и производительным методом резки по сравнению с дисковым. Однако без дополнительной адаптации технологии могут возникать проблемы при разламывании ее на кадры, так как происходит «ненаправленный разлом»


Рисунок 3 – Керамические подложки ВК96

Компания «Джиэнаксель» является надежным поставщиком керамических подложек ВК100-ДН ТУ23.43.10-004-34576770-2017, которые могут быть использованы как эквивалент подложкам ВК100 ТУ 6366-000-07593894-2013 "Поликор".  


Преимущества:

  • полная воспроизводимость всех характеристик от партии к партии;
  • высококачественная полировка сторон под микрополосковую металлизацию, тонкопленочные фильтры и резисторы;
  • материал подходит под лазерное скрайбирование, так как не обладает прозрачностью;
  • материал может быть порезан методом дисковой резки без образования сколов;
    подходит для работы в СВЧ-приборах;
  • оперативный запуск изделий в производство, возможность работы как с крупносерийными проектами, так и с мелкосерийными партиями;
  • поставки в рамках электронных торгов по 44ФЗ и 223ФЗ.

Вся продукция проходит проверку качества. В случае возникновении проблем или сложностей с обработкой подложек ВК100-ДН ТУ23.43.10-004-34576770-2017 наши технологи готовы проконсультировать и помочь с адаптацией технологии механической обработки. 

Ссылки

  1. Lucalox ceramic / . – Текст : непосредственный // Ceramics – Lucalox Tubing. – 1981. – № Catalog 7730. – С. 1-
  2. Сапфир. – Текст: электронный // АО «Монокристалл»: [сайт]. – URL: https://www.monocrystal.ru/catalog/sapphire/ (дата обращения: 23.03.2022).
  3. Подложки. – Текст: электронный // АО "Поликор": [сайт]. – URL: https://www.polikor.net/katalog/podlozhki.html (дата обращения: 23.03.2022).
  4. Керамические подложки. – Текст: электронный // ООО «Джиэнаксель»: [сайт]. — URL: https://gnelectronics.ru/produktsiya/keramicheskie-podlozhki/ (дата обращения: 23.03.2022).

Возврат к списку


Подпишитесь на наши новости