Изделия:
- диски для травления из нитрида алюминия,
- сопла из алюмооксида,
- вакуумные держатели для процессов литографии, очистки и контроля,
- концевой эффектор,
- узлы для конструкций телескопов из карбида кремния,
- тигли для испарения и плавки металлов из PBN,
- изолирующие диски с радиатором из BN для MOCVD,
- нагревательные пластины из AlN,
- насадки для распыления и др
Основные характеристики
|
Свойства |
AL203 96,0% |
AL2O3 99,7% |
Si3N4 |
SiC |
AIN-170 |
BN 99% |
BN 99,7% |
BeO 99% |
PBN | |
|
Цвет |
|
Белый |
Слоновая кость |
Черный |
Черный |
Темно серый |
Белый
|
Белый |
Белый |
Белый |
|
Объемная плотность |
г/см3 |
3,72 |
3,9 |
3,21 |
- |
3,30 |
- |
- |
- |
- |
|
Водопоглащение |
|
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
|
Газопроницаемость |
|
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
0 |
|
Прочность на изгиб (20 С) |
МПа |
≥ 280 |
370 |
900 |
380 |
382,7 |
35 |
18 |
≥ 180 |
- |
|
Модуль упругости (20 С) |
ГПа |
303 |
370 |
315 |
410 |
320 |
- |
- |
- |
- |
|
Коэффициент Пуассона (20 С) |
|
0,21 |
0,22 |
— |
0,14 |
0,24 |
- |
- |
- |
- |
|
Прочность на сжатие (20 С) |
МПа |
2068 |
2500 |
2500 |
- |
2500 |
85 |
45 |
- |
- |
|
Твердость по Кнупу |
ГПа |
11,5 |
14,1 |
16 |
22 |
10 |
- |
- |
- |
- |
|
Предел прочности (25 С) |
МПа |
221 |
262 |
- |
- |
- |
- |
- |
- |
153,86 |
|
Вязкость разрушения |
МПа*м^(1/2) |
4-5 |
4-5 |
7,5 |
— |
- |
- |
- |
- |
- |
|
Теплопроводность (20 С) |
Вт/м*K |
24,7 |
30-32 |
19 |
- |
170 |
40 |
35 |
230 |
43,7-60 |
|
КТР (25-1000 С) |
1*10(-6) С |
8,2 |
8,2 |
3,1 |
40 |
2,805 |
1,8 |
1,5 |
7,0-8,5 |
- |
|
Удельная теплоемкость (100 С) |
Дж/кг*K |
880 |
880 |
3,1 |
- |
0,74 |
- |
- |
- |
- |
| Устойчивость к тепловому удару | dT (C) | 250 | 280 | 800 | - | - | - | - | - | - |
| Максимальная температура эксплуатации | С | 1700 | 1700 | 1400 | 1600 | - | 1800 | 1800 | - | - |
| Диэлектрическая прочность (АС) | кВ/мм | 8,3 | >12 | 15 | - | 18,45 | 900 | 900 | 18 | 51 |
|
Диэлекторическая проницаемость (1МГц, 25 С) |
9 | 9,8 | - | - | 8,56 | - | - | 6,9 | - | |
|
Диэлектрические потери (1МГц, 25 С) |
0,0002 | 0,0001 | - |
- |
0,0005 | - | - | 0,0004 | - | |
| Объемное сопротивление (25 С) Ом* cm | >10^14 | >10^14 | 10^10 | 1600 | 10^14 | 10^14 | 10^14 | 10^14 | 3,11 *10^11 | |
| 4*10^9 | 2*10^10 | - | - | |||||||
| 10^6 | 2*10^6 | - | - | |||||||