Керамические подложки

Компания GN Axel специализируется на поставке высококачественных керамических подложек, включая стандартные решения и изделия, разработанные по индивидуальным техническим требованиям заказчика. Вся продукция проходит строгий контроль качества в соответствии с ГОСТ и техническими условиями (ТУ), что подтверждается сертификатами соответствия.

Керамические подложки находят применение в микроэлектронике, силовой электронике, СВЧ-технике, лазерных системах и других высокотехнологичных отраслях, где требуются высокая теплопроводность, диэлектрическая прочность, химическая и термическая стабильность.

Основные виды керамических подложек и их характеристики

Оксид алюминия (Al₂O₃, глинозёмная керамика)

  • ВК-94ДН (94% Al₂O₃) – стандартный вариант с хорошими механическими и изоляционными свойствами.

  • ВК-96ДН (96% Al₂O₃) – повышенная плотность и термостойкость.

  • ВК-100ДН (99,6% Al₂O₃, лейкосапфир) – высокая чистота, минимальные диэлектрические потери, применяется в прецизионной электронике.

Нитрид алюминия (AlN)

AlN-170, AlN-200, AlN-230 – отличаются теплопроводностью (170–230 Вт/(м·К)), что делает их оптимальными для силовых модулей и мощных LED.

Оксид бериллия (BeO)

ОБК-97 (97% BeO), ОБК-100 (99% BeO) – исключительная теплопроводность (250–300 Вт/(м·К)), но токсичность при обработке ограничивает применение. Используется в аэрокосмической и оборонной промышленности.

Карбид кремния (SiC)

Реакционно-связанный (RBSC) и реакционно-спечённый (SIS) – высокая термостойкость (до 1600°C), применяется в высокотемпературных датчиках и силовой электронике.

Нитрид кремния (Si₃N₄)

Высокая прочность на изгиб и ударная вязкость, используется в подложках для мощных полупроводниковых приборов.

Оксид циркония (ZrO₂)

Стабилизированный иттрием (YSZ) – высокая механическая прочность и устойчивость к термическим ударам.

Микроволновая керамика

Материалы с регулируемой диэлектрической проницаемостью (ε = 6–100) для СВЧ-устройств, антенн и фильтров.

Контроль качества и стандартизация

GN Axel обеспечивает полный цикл испытаний, включая:

  • Измерение теплопроводности, диэлектрических потерь, прочности на изгиб.

  • Контроль геометрических параметров и шероховатости поверхности.

  • Тестирование на термоциклическую устойчивость.

Для ключевых материалов разработаны ТУ, регламентирующие состав, свойства и методы контроля.

Области применения

  • Микроэлектроника: подложки для гибридных схем, LED, лазерных диодов.

  • Силовая электроника: теплоотводящие основания IGBT-модулей.

  • СВЧ-техника: платы для радаров, спутниковой связи.

  • Энергетика: компоненты высоковольтной изоляции.

Компания GN Axel поставляет решения для инновационных отраслей, обеспечивая надежность и соответствие международным стандартам.



Основные характеристики

СВОЙСТВА

ОСНОВНЫЕ

ВЫСОКОПРОЧНЫЕ

ВЫСОКАЯ ТЕПЛОПРОВОДНОСТЬ

 

 

AL203 96,0%

AL2O3 99,6%

Si3N4

ZrO2

AIN-170

AIN-200

AIN-230

BeO 99%

Цвет

 

Белый

Белый

Серый

Белый

Серый

Серый

Серый

Серый

Объемная плотность

г/см3

3,76

3,75

3,21

3,95

3,30

3,28

3,25

2,85

Шероховатость шлифованной поверхности (Ra)

мкм

0,2-0,7

0,3-0,5

-

0,2

0,3-0,5

0,3-0,5

0,3-0,5

0,5

Шероховатость полированной поверхности (Ra)

мкм

-

<0,05

-

<0,05

<0,05

<0,05

<0,05

<0,01

Прочность на изгиб

МПа

≥ 350

≥ 500

900

1200

≥ 380

≥ 380

≥ 350

≥ 180

Модуль упругости

ГПа

330

330

315

200 ~ 250

320

320

320

345

Твердость по Виккерсу

ГПа

14

16

11

11

11

11

Коэффициент теплового расширения

10-6 /°C

6,5~8,0

6,2~8,2

3,1

10,3

2,0~3,5

4,6~5,2

7,0~8,5

Теплопроводность (25 С)

Вт/м∙K

≥ 24

≥ 30

19

≥ 170

≥ 200

≥ 230

≥ 230

Удельная теплоемкость

Дж/кг∙К

750

750

3,1

400

720

720

720

Диэлектрическая постоянная (1МГц)

9 ~ 10

10

8 ~ 10

8 ~ 10

8,5

6,5 ~ 7,3

Диэлектрические потери (1МГц)

∙10-4

2

2

2

2

3

≤ 4

Диэлектрическая прочность (DC)

кВ/мм

≥ 17

≥ 15

≥ 17

≥ 17

≥ 15

≥ 18

Объемное сопротивление (25 C)

Ом∙см

≥ 1014

≥ 1014

≥ 1014

≥ 1014

≥ 1013

≥ 1013

≥ 1013

≥ 1014

СОВМЕСТИМОСТЬ С ТЕХНОЛОГИЯМИ МЕТАЛЛИЗАЦИИ

DBC

Новый проект (50).png

-

-

-

Новый проект (50).png

Новый проект (50).png

-

-

Тонкопленочная технология

Новый проект (50).png

Новый проект (50).png

Новый проект (50).png

Новый проект (50).png

Новый проект (50).png

Новый проект (50).png

Новый проект (50).png

Новый проект (50).png

Толстопленочная технология

Новый проект (50).png

Новый проект (50).png

Новый проект (50).png

Новый проект (50).png

Новый проект (50).png

Новый проект (50).png

Новый проект (50).png

Новый проект (50).png

ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Расстояние между линиями скрайбирования

мм

1±0,05

1±0,05

1±0,05

1±0,05

1±0,05

Минимальный диаметр отверстий

мм

0,1±0,05

0,1±0,05

0,1±0,05

0,1±0,05

0,2±0,05

Толщина

мм

0,2 ~ 2,0

≤ 0,635

0,385 ~ 1,500

0,385 ~ 1,500

0,25 ~ 1,00

Допуск на толщину, min

мм

± 0,03

± 0,04

± 0,03

± 0,03

±10%, не менее ±0,04 мм

Габариты, max

мм

139,7 x 190,5

120 x 120

127 x 127

127 x 127

177,8 x 127

Допуск на габариты, min

мм

(+0,15 / -0,05)

±0,1; ±2

(+0,15 / -0,05)

(+0,15 / -0,05)

±1%, не менее ±0,1 мм