Главное достоинство подложек, изготовленных на основе нитрида алюминия (AlN), – это высокая теплопроводность, варьирующаяся в диапазоне от 170 до 230 Вт/м*К. Именно поэтому керамика на основе AlN используется в случаях, когда необходим отвод значительных объемов выделяемого тепла, например, в случаях, когда рабочие токи составляют единицы, десятки ампер. Также, AlN обладает высокой чистотой структуры и химической однородностью, что непосредственно влияет на однородность свойств. Нитрид алюминия обладает высокой инертностью к воздействию почти всех видов кислот (исключение - горячие минеральные виды).
Продукция изготавливается из керамики на основе нитрида алюминия AlN согласно ТУ 23.43.10.110-002-34576770-2016-ДН.
Свойства |
Материал |
|||
AlN-170 |
AlN-200 |
AlN-230 |
||
Цвет |
серый |
серый |
бежевый |
|
Объемная плотность |
г/см3 |
≥ 3,20 |
≥ 3,20 |
≥ 3,30 |
Шероховатость шлифованной поверхности (Ra) |
мкм |
0,2 ~ 0,7 |
0,2 ~ 0,7 |
0,3 |
Шероховатость полированной поверхности (Ra) |
мкм |
≤ 0,05 |
≤ 0,05 |
≤ 0,05 |
Механические характеристики |
||||
Прочность на изгиб |
МПа |
≥ 380 |
≥ 380 |
≥ 350 |
Прочность на сжатие |
МПа |
- |
- |
- |
Модуль упругости |
ГПа |
320 |
320 |
320 |
Твердость по Виккерсу |
ГПа |
11 |
11 |
11 |
Вязкость разрушения |
Мпа*м^0,5 |
- |
- |
2,4
|
Физические характеристики |
||||
Коэффициент теплового расширения (40-300°C) |
10 -6 /°C |
2,0 ~ 3,0 |
2,0 ~ 3,0 |
4,6 |
Коэффициент теплового расширения (300-800 С) |
|
2,5 ~ 3,5 |
2,0 ~ 3,0 |
5,2 |
Теплопроводность (25°C) |
Вт/м∙°K |
≥ 170 |
≥ 200 |
≥ 230 |
Удельная теплоемкость |
Дж/Кг∙°К |
720 |
720 |
720 |
Диэлектрическая прочность |
|
≥ 17 |
|
≥ 15 |
Объемное сопротивление (25 С) |
|
≥ 1013 |
≥ 1013 |
≥ 1013 |
Диэлектрическая постоянная (1 МГц) |
- |
8 ~ 10 |
8 ~ 10 |
8,5 |
Диэлектрические потери (1МГц, 25°C) |
∙10 -4 |
2 |
2 |
3 |
Геометрические размеры |
||||
Расстояние между линиями скрайбирования, мм |
|
1±0,05 |
1±0,05 |
1±0,05 |
Минимальный диаметр отверстия, мм |
|
0,1±0,05 |
0,1±0,05 |
0,2±0,05 |
Толщина, мм |
|
0,385 ~ 1,500 |
0,385 ~ 1,500 |
0,25 ~ 1,00 |
Допуск на толщину (min), мм |
|
± 0,03 |
± 0,03 |
±10%, не менее ±0,04 мм |
Габариты (max), мм |
|
127 x 127 |
127 x 127 |
177,8 x 127 |
Допуск на габариты (min), мм |
|
(+0,15 / -0,05) |
(+0,15 / -0,05) |
±1%, не менее ±0,1 мм |
Технологические характеристики |
||||
DBC технология |
|
|
- |
|
Толстопленочная технология |
|
|
|
|
Тонкопленочная технология |
|
|
|
Керамика, изготовленная на основе нитрида алюминия ALN, имеет достаточно широкую область применения и позволит Вам эффективно решать задачи, независимо от уровня сложности: